上海車儀田科技有限公司專注于研發制造半導體設備專用光電控制子系統，公司團隊成員擁有數十年的半導體產品產業化經驗，是國內半導體設備龍頭公司的光電類供應商戰略合作伙伴。
公司在等離子體光譜分析、高精度溫度測量及控制、氣體液體濃度分析等技術領域提供在線式檢測零部件和子系統，應用于半導體設備上參與核心工藝過程。應用領域幾乎覆蓋半導體芯片制造的全部工藝制程，包括刻蝕去膠工藝、薄膜沉積外延工藝、熱處理工藝、清洗工藝等。
公司多款系列產品已經通過驗收并批量隨客戶機臺運行在國內一線Fab，既解決了國內半導體設備產業的供應鏈風險，又提供了差異化定制，為更加精確的工藝診斷和控制手段提供技術支持。
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