上海車儀田科技有限公司專注于研發(fā)制造半導體設備專用光電控制子系統(tǒng)，公司團隊成員擁有數十年的半導體產品產業(yè)化經驗，是國內半導體設備龍頭公司的光電類供應商戰(zhàn)略合作伙伴。
公司在等離子體光譜分析、高精度溫度測量及控制、氣體液體濃度分析等技術領域提供在線式檢測零部件和子系統(tǒng)，應用于半導體設備上參與核心工藝過程。應用領域幾乎覆蓋半導體芯片制造的全部工藝制程，包括刻蝕去膠工藝、薄膜沉積外延工藝、熱處理工藝、清洗工藝等。
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