上海車儀田科技有限公司專注于研發(fā)制造半導(dǎo)體設(shè)備專用光電控制子系統(tǒng)，公司團隊成員擁有數(shù)十年的半導(dǎo)體產(chǎn)品產(chǎn)業(yè)化經(jīng)驗，是國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備龍頭公司的光電類供應(yīng)商戰(zhàn)略合作伙伴。
公司在等離子體光譜分析、高精度溫度測量及控制、氣體液體濃度分析等技術(shù)領(lǐng)域提供在線式檢測零部件和子系統(tǒng)，應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備上參與核心工藝過程。應(yīng)用領(lǐng)域幾乎覆蓋半導(dǎo)體芯片制造的全部工藝制程，包括刻蝕去膠工藝、薄膜沉積外延工藝、熱處理工藝、清洗工藝等。
公司多款系列產(chǎn)品已經(jīng)通過驗收并批量隨客戶機臺運行在國內(nèi)一線Fab，既解決了國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)的供應(yīng)鏈風(fēng)險，又提供了差異化定制，為更加精確的工藝診斷和控制手段提供技術(shù)支持。
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